Alcatel Adixen AD100K vid înalt

Alcatel Adixen AD100K AD30K 600-4500 m3/h.

Adixen AD30K pompă uscată, vid înalt
Noile pompe uscate de înaltă performanță:
Seria ADH este proiectată special pentru industria solară
dezvoltată pentru procesele solicitante din domeniul semiconductorilor și al piețelor LED,
cu o capacitate de aspirație de 600-4500 m3/h.

Semiconductori: Rată mare de pompare pentru H2
Hjdpfx Afoikq Tyo Aeff
Performanța seriei ADH aduce următoarele avantaje pentru proces:
- Performanță proces ADL: eficiență ridicată a pompei pentru gaze ușoare
permite golirea mai rapidă a camerei între pașii procesului
- Epitaxie și EUV: volum mare de aspirație și debit ridicat
Toleranța satisface cele mai exigente specificații de proces

Adixen AD30K pompă uscată, vid înalt, AD 30 KL
Producător: Alcatel Adixen
Tip: AD30K.H
An fabricație: 2008

Adixen AD100K.H
Producător: Alcatel Adixen
Tip: AD100K.H
An fabricație: 2008

Pompă de vid:
Producător: AERZEN
Tip: GM 2000 CM-C
Turație: 6000 rpm
Tensiune: 200-460 V
Frecvență (ulei mineral/PFPE): 100 Hz
Capacitate maximă de aspirație: 4035 m3/h
Turație maximă: 5920 rpm
Putere motor S1 / S6: 9/5,6 kW
An fabricație: 2008
Greutate: 345 kg

Pompă uscată:
Producător: Adixen
Tip: BF ADP122
An fabricație: 2008
Putere: 1,5 kW
Capacitate maximă de aspirație: 95 m3/h
Presiune de intrare maximă în regim continuu: 50 mbar
Presiune maximă de refulare a gazelor: 1200 mbar
Debit răcire cu apă: 60 l/h
Viteză de rotație pompă: 3000-3600 rpm
Temperatură de funcționare a pompei: 5 °C până la 40 °C
Flanșă de intrare: DN 50 ISO-KF
Flanșă de evacuare: DN 40

Anunțul a fost tradus automat. Pot exista erori de traducere.